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バイオ・分析装置
電気泳動装置をはじめとするバイオ関連の分析装置を開発・製作しております。
マイクロチップ電気泳動装置
HP-300
MEMS技術を応用したマイクロ流路チップ上で微量たんぱく質の分離分析を行います。 小型、微量、高速分析（約10分）を特徴とする全自動2次元電気泳動装置です。
Cibi-MS（小型飛行時間型質量分析装置）
MS-101
分析管、レーザー、ターボポンプをトランクに納めた可搬型質量分析装置です。
（技術指導：首都大学東京伊永隆史教授）
（共同開発元：㈱メムス・コア殿、オンサイトリサーチ㈱殿）
オーミックアロイ装置
バッチ式アニール装置
縦型拡散装置
酸化装置
汚染抽出装置
枚葉式両面洗浄装置
枚葉式リフトオフ装置
RCAウェット-光複合洗浄装置
レーザーアブレッシブＣＶＤ装置
ダイヤモンド成膜装置
ＡＬＤ装置
電子ビーム蒸着装置
全自動エッチング装置
多機能エッチング装置
化合物半導体用ドライエッチング装置
マルチ電極ドライエッチング装置
無電極高出力ＵＶ光照射装置
卓上型Deep UV光表面改質装置
ＵＶ光アッシング装置
ハードディスク表面改質装置
KOH異方性エッチング装置
マイクロマシン用陽極接合装置
電解めっき処理装置
空気イオンカウンタ
液中パーティクルカウンタ
マイクロチップ電気泳動装置
Chibi-MS（小型飛行時間型質量分析装置）
小型高電圧電源
多目的エッチング・アッシング装置
バックサイドエッチング装置
MEMS用常圧プラズマ装置
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