
HOME ＞エッチング装置	English

エッチング装置

ウェットエッチング、ドライエッチングを問わず、幅広い用途に対応すべく豊富な技術と装置をご提供致します。

L-05

ウェットエッチング工程を自動化し、枚葉処理方式を採用。GaAsウェハのリセスエッチング、薄膜磁気ヘッドのメタル膜エッチング等に最適です。
有機洗浄にもお使いいただけます。
（対応基板　φ4インチ～φ6インチ）

CM-600

オプションの選択によりケミカルエッチングからプラズマエッチングまでこなせる拡張性をもっております。実験装置・少量生産設備にお使い頂けます。
（オプション仕様）

RDE-150

GaN、SiＣ,ZnOなどのワイドギャップ化合物半導体用ケミカルドライエッチング装置です。

SR-1000

大面積化にも対応可能な複数電極型のドライエッチング装置です。発振周波数の最適化により、複数電極を可能と致しました。パワーを最適化することにより、アッシング、洗浄、テクスチャリング装置としても対応が可能です。

	空気イオンカウンタ
	液中パーティクルカウンタ

	マイクロチップ電気泳動装置
	Chibi-MS（小型飛行時間型質量分析装置）


	Copyright (c) 2007 Chemitronics Co., Ltd. All rights reserved	プライバシーポリシー