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MEMS関連装置

半導体製造装置の製造や研究開発技術のノウハウを有効に生かし、マイクロマシン関連の専用製造装置の製造およびプロセス技術の研究開発を行っております。

BE-112

異方性エッチングに優れているＫＯＨプロセスを、ＭＥＭＳに特化した仕様にてご供給致します。
ＭＥＭＳプロセスに相応しい装置サイズにする事により、省スペース・ローコストが可能となりました。

AC-9400

アライメントから接合まで、真空中で一貫処理のオールインワン型の装置です。アライメント部の基板処理はプラズマクリーニングです。
（対応基板　φ４インチ～φ6インチ）

UME-H100

最大6インチまでのSiやガラス基板の貫通孔、深溝などに対してCu、Niなどの埋め込みめっきを行います。
独自のノウハウで基板面のめっき量を均一にしました。
（プロセス開発元：㈱メムス・コア殿）

	空気イオンカウンタ
	液中パーティクルカウンタ

	マイクロチップ電気泳動装置
	Chibi-MS（小型飛行時間型質量分析装置）


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