独自の原料ガスフローの切り替え機構を採用し、枚葉からバッチ処理までも可能とした原子層堆積装置です。装置構成をクラスター型とする事で、処理時間の長くなりがちなプロセスにも、ハイスループットで対応可能です。
【特別受注生産品です。詳細はお問合せ下さい】
